Fabrikasi dan Karakterisasi Prototipe Sensor Gas No2 Berbasis Lapisan Tipis Copper Phthalocyanine Sebagai Sensor Gas yang dapat Bekerja Pada Suhu Ruang Telah dilakukan fabrikasi lapisan tipis Copper Phthalocyanine (CuPc) dengan menggunakan elektroda emas (Au) yang dideposisikan di atas substrat kaca. Deposisi lapisan tipis CuPc dan elektroda emas dilakukan dengan teknik lithography … Read More